半导体制造

半导体制造

ACS运动控制公司有数十年的经验解决吞吐量,精度和分辨率的要求,最苛刻的半导体设备应用,包括检测,计量,光刻等。
先进的开发工具和能力的关键,是使半导体OEM机械制造商能够管理高度复杂的运动控制应用。


Advantages

  • 高精度XY平台晶片/掩模定位
  • 高精度Z平台检测/计量头定位
  • Z/Tip/Tilt晶片校准
  • 光束操作轴定位
  • 光学的,X射线,及E光束检测与计量
  • ACS运动控制公司有数十年的经验解决吞吐量,精度和分辨率的要求,最苛刻的半导体设备应用,包括检测,计量,光刻等。 先进的开发工具和能力的关键,是使半导体OEM机械制造商能够管理高度复杂的运动控制应用。
  • 探针探测
  • 镀膜
关键能力

Resources

纳米方案E光束晶片检测

MMI软件功能强大,使用界面友好,适用于开发和现场工程。 提供及时,快速响应和高效的技术支持。 ACS具有良好的运动控制工程知识,能够并愿意为特殊应用提供定制。它使我们能采用最先进的控制方案来满足我们的特殊需求。