半导体制造
半导体制造
ACS运动控制公司有数十年的经验解决吞吐量，精度和分辨率的要求，最苛刻的半导体设备应用，包括检测，计量，光刻等。
先进的开发工具和能力的关键，是使半导体OEM机械制造商能够管理高度复杂的运动控制应用。
Advantages
- 高精度XY平台晶片/掩模定位
- 高精度Z平台检测/计量头定位
- Z/Tip/Tilt晶片校准
- 光束操作轴定位
- 光学的，X射线，及E光束检测与计量
- ACS运动控制公司有数十年的经验解决吞吐量，精度和分辨率的要求，最苛刻的半导体设备应用，包括检测，计量，光刻等。 先进的开发工具和能力的关键，是使半导体OEM机械制造商能够管理高度复杂的运动控制应用。
- 探针探测
- 镀膜
关键能力
- 主应用程序库，使机器更快地上市
- SPiiPlus模拟器减少机器开发工作
- 提高运动系统性能的算法ServoBoost
- 用于纳米级方案应用的NanoPWM技术
- 更智能的龙门控制
- Servo算法客制化
- 自动聚焦装置
- 动态反馈切换
- 灵活配置
Resources
Additional Links and Downloads
纳米方案E光束晶片检测
MMI软件功能强大，使用界面友好，适用于开发和现场工程。 提供及时，快速响应和高效的技术支持。 ACS具有良好的运动控制工程知识，能够并愿意为特殊应用提供定制。它使我们能采用最先进的控制方案来满足我们的特殊需求。